恭喜株式会社国际电气林昭成获国家专利权
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龙图腾网恭喜株式会社国际电气申请的专利衬底处理装置、衬底搬送系统、半导体器件的制造方法及记录介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114999968B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210776326.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权衬底处理装置、衬底搬送系统、半导体器件的制造方法及记录介质是由林昭成设计研发完成，并于2015-11-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本衬底处理装置、衬底搬送系统、半导体器件的制造方法及记录介质在说明书摘要公布了：本发明提供衬底处理装置，其具备：供衬底收容器载置的多个载置部；驱动上述载置部的驱动部；搬送机构，其进行上述衬底收容器向上述载置部的搬入和上述衬底收容器从上述载置部的搬出；以及控制部，其控制上述驱动部和上述搬送机构，以使得在不使上述搬送机构的支承部从初始位置动作的情况下使上述搬送机构的支承部升降，从而将上述衬底收容器从上述载置部交接至上述搬送机构的支承部、或者将上述衬底收容器从上述搬送机构的支承部交接至上述载置部。
本发明授权衬底处理装置、衬底搬送系统、半导体器件的制造方法及记录介质在权利要求书中公布了：1.衬底处理装置，其具备： 搬送机构，其具有供衬底收容器载置的支承部、使所述支承部升降的升降部、和通过伸缩而使所述支承部移动的伸缩部； 保管部，其具有供衬底收容器载置的载置部、和使所述载置部向所述支承部的升降范围移动的驱动部；以及 控制部，其被构成为控制所述搬送机构和所述保管部，以进行所述驱动部使所述保管部的所述载置部向所述支承部的升降范围移动的处理、和在所述伸缩部处于缩回状态下而所述升降部使所述支承部升降的处理。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人株式会社国际电气，其通讯地址为：日本东京都；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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