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龙图腾网获悉云际芯光(珠海)微电子有限公司;天津大学申请的专利一种微型加热器的制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119052962B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411527959.0，技术领域涉及：H05B3/02；该发明授权一种微型加热器的制备方法是由孙思濂;于容康;张浩;崔魏巍设计研发完成，并于2024-10-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种微型加热器的制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种微型加热器的制备方法，包括具有刻蚀槽的衬底；覆盖整个衬底的复合支撑层；沉积在复合支撑层上表面的加热层；覆盖加热结构的保护层；覆盖加热层和保护层的钝化层；设置在钝化层内部的金属散热层；方法包括：在衬底上表面形成复合支撑层；在复合支撑层上表面沉积加热层；加热层的加热结构上沉积用于覆盖加热结构的保护层；复合支撑层上表面沉积钝化层；钝化层上表面沉积金属散热层；钝化层继续沉积到预定厚度以包裹金属散热层；钝化层刻蚀出窗口，露出的连接电极上表面沉积Pad层；刻蚀衬底以形成刻蚀槽。该微型加热器薄膜结构稳定，散热性能好，热响应时间短，解决了传统微型加热器无法兼顾热响应速率与结构稳定性的问题。

本发明授权一种微型加热器的制备方法在权利要求书中公布了：1.一种微型加热器的制备方法，其特征在于，其步骤为： S10、在衬底1的上表面沉积形成复合支撑层（2）；复合支撑层（2）生成方法为：先在衬底（1）的上表面和下表面分别生成上隔离层（12）和下隔离层（13），然后在上隔离层（12）上表面沉积生成复合支撑上层（14），所述上隔离层（12）和复合支撑上层（14）共同构成复合支撑层（2），所述复合支撑上层（14）采用氮化铝材质，所述上隔离层（12）采用二氧化硅材质； S20、在复合支撑上层（14）上表面沉积加热层3，再将加热层3的加热结构31进行图案化处理；所述加热结构（31）为双加热电极，各所述加热电极均包括多个弧形部分以及配置成连接弧形部分的多个连接部分，双加热电极组合成圆形结构； S30、在加热层3的加热结构31上沉积形成保护层4，以覆盖所述加热结构31，所述保护层（4）采用氮化铝材质； S40、在复合支撑上层（14）上表面沉积形成将所述加热层3和保护层4进行全覆盖的钝化层5； S50、在钝化层5的上表面沉积形成金属散热层6，所述金属散热层6采用钼材质； S60、所述钝化层5的上表面继续沉积到预定厚度，以将所述金属散热层6包裹在钝化层5的内部； S70、在钝化层5上刻蚀出窗口51，以露出所述加热层3的连接电极（32），在露出的连接电极（32）上表面沉积形成Pad层7； S80、从衬底1的下表面沿其厚度方向刻蚀衬底1以形成刻蚀槽11，露出上隔离层（12）。

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