沈阳富创精密设备股份有限公司姜小蛟获国家专利权
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龙图腾网获悉沈阳富创精密设备股份有限公司申请的专利一种适用于半导体的晶圆夹持机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023262U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422368444.2，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种适用于半导体的晶圆夹持机构是由姜小蛟;刘鑫设计研发完成，并于2024-09-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种适用于半导体的晶圆夹持机构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体行业晶圆夹持技术领域，具体是一种适用于半导体的晶圆夹持机构，包括夹持基座和夹持头，夹持头通过旋转机构连接在夹持基座上，夹持头由金属板和柔性单元组成，柔性单元设置在金属板一端的底部，在金属板的另一端设置有夹持头螺纹孔，在夹持基座上设置有与金属板上的螺纹孔相一致的基座螺纹孔，旋转机构包括旋转轴，旋转轴设置有与夹持头螺纹孔和基座螺纹孔相配合的外螺纹；晶圆放置在夹持基座上后，将夹持头的柔性单元沿着旋转轴旋转至晶圆的上方，拧紧旋转轴使得柔性单元和晶圆弹性接触。该夹持机构通过设计旋转夹持机构，并对夹持接触头进行材料优化，采用手动操作的方式，确保夹持机构稳定可靠，规避了晶圆损伤的问题。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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