恭喜拓荆科技(上海)有限公司吴守鑫获国家专利权
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龙图腾网恭喜拓荆科技(上海)有限公司申请的专利一种喷淋板结构及喷淋设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223016963U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422259046.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种喷淋板结构及喷淋设备是由吴守鑫;李健;尹重阳;李汉超;付芸绮;陈剑;郭建修设计研发完成，并于2024-09-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种喷淋板结构及喷淋设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种喷淋板结构及喷淋设备，喷淋板结构包括喷淋板本体和设置在喷淋板本体上的气体通道，气体通道包括内圈气体通道和围绕内圈气体通道设置的外圈气体通道；内圈气体通道包括相嵌的第一内螺旋槽和第二内螺旋槽，第一内螺旋槽和第二内螺旋槽分别有第一内圈进气口和第二内圈进气口，外圈气体通道包括相嵌的第一外螺旋槽和第二外螺旋槽，第一外螺旋槽和第二外螺旋槽分别有第一外圈进气口和第二外圈进气口；第一内圈进气口和第一外圈进气口以不同的流速通入第一气体，第二内圈进气口和第二外圈进气口以不同的流速通入第二气体。不同的速度生产不同厚度的薄膜，这样便实现了边缘和中心薄膜的厚度不同的目的，进而能够解决应力问题。
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