恭喜长沙华屹半导体有限公司杨美高获国家专利权
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龙图腾网恭喜长沙华屹半导体有限公司申请的专利一种反应腔室内部晶圆的升降机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023210U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422201368.6，技术领域涉及：H01J37/20；该实用新型一种反应腔室内部晶圆的升降机构是由杨美高;范浩;陈文彪设计研发完成，并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种反应腔室内部晶圆的升降机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种反应腔室内部晶圆的升降机构，包括安装底座、气缸基座、双行程气缸、传动连接件、缓冲活塞组件和顶针，所述气缸基座安装在安装底座上，双行程气缸安装于气缸基座内部并作为升降动力源，所述传动连接件安装于双行程气缸的活塞杆上，所述缓冲活塞组件安装在传动连接件上，所述顶针安装在缓冲活塞组件的活塞杆上；本实用新型利用利用双行程气缸设置高中低三个稳定的位置点，从而保证晶圆中间的解吸附高度，提高晶圆加工工艺质量；双行程气缸及缓冲活塞组件配合，通过两级行程缓冲以及缓冲活塞组件缓冲，有效控制真空环境中由于真空压力所造成的气缸推进行程不稳定的情况；升降机构全金属表面，保护机构在刻蚀腔体内不被腐蚀。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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