恭喜南京屹立芯创半导体科技有限公司张景南获国家专利权
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龙图腾网恭喜南京屹立芯创半导体科技有限公司申请的专利压膜机构和压膜系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223023234U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422199385.0,技术领域涉及:H01L21/67;该实用新型压膜机构和压膜系统是由张景南;陈明展设计研发完成,并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本压膜机构和压膜系统在说明书摘要公布了:本申请涉及半导体技术领域,具体公开一种压膜机构和压膜系统。压膜机构包括机架、载台、挠性件和柔性体;载台连接机架,载台具有承载面;挠性件连接机架,挠性件适于受到外界压力而朝向承载面膨胀;柔性体连接于挠性件面向承载面的一侧,柔性体的硬度小于挠性件的硬度。由于挠性件面向承载面的一侧设置有柔性体,且柔性体的硬度小于挠性件的硬度,因此,当承载面上设置有多个晶圆时,挠性件和柔性体配合使用,挠性件带动更柔软的柔性体对待压合膜施加朝向晶圆的力,使待压合膜与晶圆紧密结合的同时,挠性件还可以带动更柔软的柔性体对待压合膜施加朝向相邻两个晶圆的间隙施加朝向承载面的力,由此可使待压合膜对相邻两个晶圆之间的间隙进行填覆。
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