瀚天天成电子科技(厦门)股份有限公司李培军获国家专利权
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龙图腾网获悉瀚天天成电子科技(厦门)股份有限公司申请的专利一种碳化硅外延反应室的进气分流腔获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223017036U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422179451.8，技术领域涉及：C30B25/14；该实用新型一种碳化硅外延反应室的进气分流腔是由李培军;余文杰;廖建华;李凯希;孙永强;冯淦;赵建辉设计研发完成，并于2024-09-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种碳化硅外延反应室的进气分流腔在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种碳化硅外延反应室的进气分流腔，所述进气分流腔具有气体入口和气体出口，进气分流腔内在气体入口和气体出口之间设有至少一隔板以分隔为至少两个流路；由气体入口至气体出口的纵向方向上，所述隔板的宽度逐渐减小，使其隔板具有一定的倾斜角度，气流能够向特定方向流动，可提升外延层中心与边缘交界处任一区域浓度值，从而提高外延层浓度均匀性的效果，提高外延生长的质量。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人瀚天天成电子科技(厦门)股份有限公司，其通讯地址为：361101 福建省厦门市厦门火炬高新区同翔高新城市头东二路198-1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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