东莞市译码半导体有限公司刘操获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市译码半导体有限公司申请的专利一种防晶圆翘曲加工移载装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223023256U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422133696.7,技术领域涉及:H01L21/683;该实用新型一种防晶圆翘曲加工移载装置是由刘操;殷泽楠设计研发完成,并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种防晶圆翘曲加工移载装置在说明书摘要公布了:本实用新型属于晶圆加工移载装置技术领域,尤其涉及一种防晶圆翘曲加工移载装置,包括支撑座,支撑座内端均设置有第一真空吸盘,第一真空吸盘周围通过可拆卸连接有第一弹性圈;推拉杆使第一真空吸盘靠近或远离第二真空吸盘,实现第一真空吸盘对晶圆进行抓取和摆放的效果,实现第二真空吸盘实现对晶圆吸引牢固装夹的效果,移载框实现将晶圆从其中一个第二真空吸盘转移到另一个第二真空吸盘上面的效果,既可以对晶圆稳固装夹,又可以对晶圆进行移载,有效防止晶圆在装夹和转移过程中造成翘曲,为晶圆加工过程提供便利条件,便于将晶圆从上一道工序转移到下一道工序进行加工,解决了现有的晶圆加工移载装置会对装夹的晶圆产生翘曲的问题。
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