深圳市云鹏微电子科技有限公司吴勇获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳市云鹏微电子科技有限公司申请的专利一种芯片垂直浸液装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023260U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422126287.4，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型一种芯片垂直浸液装置是由吴勇;李好设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片垂直浸液装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及芯片制造技术领域，具体为芯片垂直浸液装置，包括框体,所述框体内壁开设有滑槽，所述滑槽表面滑动连接有滑块，所述滑块侧表面固定连接有限位框，所述限位框内壁安装有挡板，所述限位框侧面开设有安装槽，所述安装槽内底壁固定连接有伸缩柱，所述伸缩柱表面设置有弹簧，所述伸缩柱上表面固定连接有限位杆，所述限位杆侧面固定连接有卡块。该芯片垂直浸液装置，通过限位框和挡板的相互配合，可固定多个晶圆，便于在纯水内进行清洗，再通过限位杆和卡块的配合，可对晶圆一侧进行限位，保证晶圆在清洗时提高晶圆的稳定性，并且此结构可放置多个晶圆进行清洗，提高了工作的效率，减少了晶圆晃动造成的损坏。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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