吉林华微电子股份有限公司曲坤获国家专利权
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龙图腾网获悉吉林华微电子股份有限公司申请的专利晶圆拾取装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023261U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422132419.4，技术领域涉及：H01L21/687；该实用新型晶圆拾取装置是由曲坤;王翌博设计研发完成，并于2024-08-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆拾取装置在说明书摘要公布了：本申请提供的一种晶圆拾取装置，其特征在于，包括镊子和定位组件；镊子包括真空管，真空管一端头设置有扁平状的镊子头，镊子头上设置有多个气孔，真空管上还设置有气体控制阀门；定位组件包括固定柱和活动组件；固定柱包括至少两根固定柱，固定柱上设置有与晶圆筐可拆卸连接的第一连接部，固定柱通过第一连接部与安装于晶圆筐时，固定柱的延伸方向与晶圆筐中晶圆插槽的延伸方向相同；活动组件设置于固定柱，活动组件上还设置有第二连接部，第二连接部与镊子相连，活动组件用于与镊子一同沿固定柱的延伸方向移动。本申请通过设置多个固定卡位，使操作人员在使用镊子拾取晶圆过程中，避免由于人为拾取导致错齿给晶圆带来的划痕，提高晶圆良率。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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