恭喜昆山振业杨亭精密机械有限公司刘勇获国家专利权
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龙图腾网恭喜昆山振业杨亭精密机械有限公司申请的专利一种用于光刻机的传感器定位装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223038297U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422271349.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种用于光刻机的传感器定位装置是由刘勇;王云鹏;汪松亮设计研发完成，并于2024-09-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于光刻机的传感器定位装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于光刻机的传感器定位装置，涉及光刻机配件技术领域，该用于光刻机的传感器定位装置，包括圆形盒体，所述圆形盒体的顶面开设有多个圆周分布的第一滑槽，每个所述第一滑槽的底端均开设有长口；本实用新型公开了一种用于光刻机的传感器定位装置，设置多个滑动连接的定位机构，可贴合在振动传感器的侧壁上，可实现对振动传感器的初步定位，然后配合锁定机构可对此时位置的定位机构进行锁定，最后正转定位机构中的紧固压片即可挤压在振动传感器的顶面上，可实现振动传感器的定位固定安装，该结构的定位装置能够适用不同大小与形状的振动传感器的定位安装，灵活性高，可满足不同的实际需求。
本实用新型一种用于光刻机的传感器定位装置在权利要求书中公布了：1.一种用于光刻机的传感器定位装置，其特征在于：包括圆形盒体10，所述圆形盒体10的顶面开设有多个圆周分布的第一滑槽20，每个所述第一滑槽20的底端均开设有长口30，每个所述第一滑槽20上均设有与其滑动连接的定位机构40，所述圆形盒体10的底端设有与所述定位机构40相匹配的锁定机构80，所述圆形盒体10的侧壁开设有多个圆周分布的第二滑槽50，每个所述第二滑槽50上均设有与其上下滑动连接的第一滑块60，所述第一滑块60的顶面与所述定位机构40固定连接有牵引绳70，所述第一滑块60的底端固定连接有连接杆90，所述连接杆90的底端固定连接有圆形连接架100，所述圆形连接架100与所有的连接杆90固定连接。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人昆山振业杨亭精密机械有限公司，其通讯地址为：215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇恒盛路505号1号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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