恭喜上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司倪逸枫获国家专利权
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龙图腾网恭喜上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体(上海)有限公司申请的专利一种能从单晶片夹转变为双晶片夹的机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223038931U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202420638874.9,技术领域涉及:H01L21/687;该实用新型一种能从单晶片夹转变为双晶片夹的机构是由倪逸枫;刘大威;吴凌峰设计研发完成,并于2024-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种能从单晶片夹转变为双晶片夹的机构在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种能从单晶片夹转变为双晶片夹的机构,包括:托架组件,所述托架组件内具有放置腔体,所述放置腔体内沿第一方向具有若干定位槽组件,所述定位槽组件用于放置晶圆;驱动组件,所述驱动组件与所述托架组件传动连接,用于驱动所述托架组件沿所述第一方向或所述第一方向的反方向活动。本实用新型对原机台兼容性强,稳定性高,占用空间小,提高了加工效率,降低成本。
本实用新型一种能从单晶片夹转变为双晶片夹的机构在权利要求书中公布了:1.一种能从单晶片夹转变为双晶片夹的机构,其特征在于,包括: 托架组件,所述托架组件内具有放置腔体,所述放置腔体内沿第一方向具有若干定位槽组件,所述定位槽组件用于放置晶圆; 驱动组件,所述驱动组件与所述托架组件传动连接,用于驱动所述托架组件沿所述第一方向或所述第一方向的反方向活动。
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