湖北芯映光电有限公司袁婷获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北芯映光电有限公司申请的专利一种巨量转移方法、集成板封装方法和集成板获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114361064B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111521442.7,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种巨量转移方法、集成板封装方法和集成板是由袁婷;刘强设计研发完成,并于2021-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种巨量转移方法、集成板封装方法和集成板在说明书摘要公布了:本发明涉及LED加工技术领域,公开了一种巨量转移方法、集成板封装方法和集成板,包括:将MicroLED芯片顶部的第一金属层和CMOS背板晶片的表面的第二金属层对接,并通过热压法结合,形成MicroLED阵列。本发明具有以下优点和效果:由于利用金属之间热压扩散现象将MicroLED芯片转移到CMOS背板晶片上,而金属热压仅需要对准后按照热压法加热即可,规避了锡膏法中锡膏使用时间的限制,可以用以构建更大的集成板,相应的减少了大尺寸屏组装时所需要的集成板的数量,相应减少了屏组的拼缝面积,提高了LED屏幕的使用感受。同时,与传统锡膏过炉硬化结合相比,金属热压法粘接强度更高,没有锡球开裂和连锡等不良现象,可靠性更优。
本发明授权一种巨量转移方法、集成板封装方法和集成板在权利要求书中公布了:1.一种集成板封装方法,其特征在于,包括以下步骤: 根据巨量转移方法完成MicroLED阵列; 将MicroLED阵列的蓝宝石衬底1去除,并将设置有控制回路的玻璃基板4覆盖于MicroLED阵列去除蓝宝石衬底1的一面; 在玻璃基板4上均匀覆盖遮光层5;所述遮光层5采用黑胶或光刻胶;在遮光层5内按照红、绿和蓝的色彩间隔进行量子点填充,然后覆盖表面层7,形成集成板,其中每个量子点填充的位置与MicroLED阵列中每一个MicroLED芯片2对应; 所述量子点填充包括以下步骤: 遮光层5内按照红、绿和蓝的色彩间隔注入对应颜色的量子点胶体,形成对应颜色的填充区6,每个填充区6的位置与一个MicroLED芯片2对应,其中对应蓝色的填充区6注入透明胶体或者空置; 在填充区6顶面覆盖对应颜色的滤光片61; 所述填充区6为锥台型,具有顶面和底面,其中顶面大于底面,所述底面朝向玻璃基板4; 所述遮光层5被填充区6分割为多个锥台型结构,其中朝向玻璃基板4的一面面积小于朝向表面层7的一面; 在形成填充区6时,在填充区6与遮光层5之间镀银; 其中,所述巨量转移方法包括: 在蓝宝石衬底1上生长外延层11,将第一金属层12沉积在外延层11顶面,然后加工形成阵列排布的多个MicroLED芯片2; 在CMOS背板晶片3的表面沉积第二金属层31,然后按照单个MicroLED芯片2的尺寸将第二金属层31划分成同样大小的阵列; 将MicroLED芯片2顶部的第一金属层12和CMOS背板晶片3的表面的第二金属层31对接,并通过热压法结合,形成MicroLED阵列; 在蓝宝石衬底1上生长外延层11后,在外延层11上镀一层银形成镀银层121,然后在镀银层121顶面沉积第一金属层12; 所述热压法包括如下步骤: 将MicroLED芯片2顶面的第一金属层12和CMOS背板晶片3的表面的第二金属层31对齐并互相紧压,形成微观塑性变形; 在真空或保护气氛中进行退火处理,使得第一金属层12和第二金属层31互相扩散形成固溶体。
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