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龙图腾网获悉信越化学工业株式会社申请的专利感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、和表面保护膜获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114253069B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111107270.9，技术领域涉及：G03F7/004；该发明授权感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、和表面保护膜是由浦野宏之;饭尾匡史;竹村胜也设计研发完成，并于2021-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、和表面保护膜在说明书摘要公布了：本发明涉及感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、和表面保护膜。本发明的课题是提供一种感光性树脂组成物、使用前述感光性树脂组成物的图案形成方法、硬化膜、具有前述硬化膜的电子零件。该课题的解决手段为一种感光性树脂组成物，其含有：A树脂、B感光剂、C含有下述平均实验式1表示的结构单元的表面活性剂及D溶剂。R1R2Y2SiO122R3Y1SiO22lR5R6SiO22nR4SiO32m1;式中，Y1、Y2分别独立地为氢原子、甲基、苯基或下述式2表示的基团，而且Y1、Y2中的至少一者为下述式2表示的基团，R1～R6可相同也可相异地为也可含有杂原子的碳数1～20的1价烃基，l、n分别独立地为1～100的整数，m为0～100的整数。

本发明授权感光性树脂组成物、图案形成方法、硬化被膜形成方法、层间绝缘膜、和表面保护膜在权利要求书中公布了：1.一种感光性树脂组成物，其特征为含有： A树脂，该A树脂选自于聚酰胺、聚酰胺酰亚胺、聚酰亚胺、聚酰亚胺前驱物、聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前驱物、含有硅氧烷骨架的树脂中的至少1种， B感光剂， C含有下述平均实验式1表示的结构单元的表面活性剂，及 D溶剂； R1R2Y2SiO122R3Y1SiO22lR5R6SiO22nR4SiO32m1 式中，Y1、Y2分别独立地为氢原子、甲基、苯基或下述通式2表示的基团，而且Y1、Y2中的至少一者为下述通式2表示的基团，R1～R6可相同也可相异地为也可含有杂原子的碳数1～20的1价烃基，l、n分别独立地为1～100的整数，m为0～100的整数； 式中，点线表示键结，R9、R10、R11分别独立地为碳数2～10的直链状或分支状的亚烷基，但，R10和R11不同，R12为碳数2～10的3价烃基，R13表示具有选自于OR10、OR11、OR12中的1种以上的重复单元的结构，R14为碳数2～10的直链状或分支状的烷基酯基，a为1～50的整数，b为0～50的整数，c为0～50的整数，d为1～20的整数；-OR10-、-OR11-、-OR12R13-的顺序也可为无规。

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