AP系统股份有限公司金昌敎获国家专利权
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龙图腾网获悉AP系统股份有限公司申请的专利边缘环和具有边缘环的热处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112509967B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010920077.6，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权边缘环和具有边缘环的热处理设备是由金昌敎;权昶珉设计研发完成，并于2020-09-04向国家知识产权局提交的专利申请。
本边缘环和具有边缘环的热处理设备在说明书摘要公布了：本发明提供一种边缘环和具有边缘环的热处理设备。边缘环包含具有环形形状的主体。主体包含：衬底支撑部件，配置成支撑衬底的底部表面的边缘；外带，设置于衬底支撑部件的外部，且具有一顶部表面，所述顶部表面高于衬底支撑部件的顶部表面且平行于由衬底支撑部件支撑的衬底的顶部表面；外侧壁，设置于外带的外部；以及凹槽部件，设置于衬底支撑部件与外带之间。
本发明授权边缘环和具有边缘环的热处理设备在权利要求书中公布了：1.一种边缘环，包括： 主体，具有环形形状， 其中所述主体包括： 衬底支撑部件，配置成支撑衬底的底部表面的边缘； 外带，设置于所述衬底支撑部件的外部，且具有一顶部表面，所述顶部表面高于所述衬底支撑部件的顶部表面且平行于由所述衬底支撑部件支撑的所述衬底的顶部表面； 外侧壁，设置于所述外带的外部；以及 凹槽部件，设置于所述衬底支撑部件与所述外带之间， 其中所述凹槽部件包括： 底板，设置于比所述外带低的高度处； 内侧壁，从所述底板的顶部表面突出；以及 连接侧壁，配置成将所述外带连接到所述底板， 其中所述内侧壁的上部末端具有与由所述衬底支撑部件支撑的所述衬底的所述顶部表面相同的高度，或具有比由所述衬底支撑部件支撑的所述衬底的所述顶部表面更高的高度， 其中，外侧壁从外带向下延伸，并且 连接侧壁设置成面向外侧壁，以与外侧壁和外带定义出用于插入旋转支撑部件的支撑环的至少一部分的空间。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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