HS高科技股份有限公司黄厚喆获国家专利权
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龙图腾网获悉HS高科技股份有限公司申请的专利发光二极管转盘获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114175227B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080054627.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权发光二极管转盘是由黄厚喆;金永宣;许珍率;李仁五设计研发完成，并于2020-08-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本发光二极管转盘在说明书摘要公布了：本发明涉及一种通过发光二极管对晶圆加热的发光二极管转盘，特别是有关于一种在发光二极管转盘的加热部的面积小于晶圆的面积的情况下亦可有效地达成对晶圆的非外围区域与外围区域、即晶圆的整体面积的加热的发光二极管转盘。
本发明授权发光二极管转盘在权利要求书中公布了：1.一种发光二极管转盘，包括： 主体，把持晶圆并以能够旋转的方式配置；以及 加热部，配置于所述晶圆与所述主体之间以对所述晶圆加热， 所述加热部包括： 板，在其外围中的至少一部分配置以越向其外围越向下倾斜的方式形成的倾斜部； 第一发光二极管组，配置于所述板除所述倾斜部的倾斜面之外的上表面中的至少一部分；以及 第二发光二极管组，配置于所述倾斜部的所述倾斜面， 其中所述第二发光二极管组仅配置在所述加热部的所述板的外围中，以加热所述晶圆的外围。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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