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龙图腾网获悉中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司申请的专利一种真空镀膜设备用观察窗防污染装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223163480U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202521189661.3，技术领域涉及：C23C14/52；该实用新型一种真空镀膜设备用观察窗防污染装置是由张学全;赵崇凌;王忠旭;王启佳;张学锋设计研发完成，并于2025-06-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空镀膜设备用观察窗防污染装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于真空镀膜设备技术领域，具体是一种真空镀膜设备用观察窗防污染装置，直角弯头的一端与真空镀膜设备的观察法兰密封连接，观察窗与直角弯头的另一端密封连接，镜片及防污板均位于直角弯头内，磁力驱动组件固定在直角弯头上，磁力驱动组件的输出端与镜片连接，镜片通过磁力驱动组件的驱动在直角弯头内的直角转弯处相对观察窗转动，进而实现通过观察窗观察真空腔室内部视线线路的开关；防污板固接在直角弯头的内壁上，当镜片在磁力驱动组件的驱动下转动至关闭状态时，镜片背向观察窗的一面与防污板抵接。本实用新型通过调整镜片角度间接监测蒸镀源，极大缓解了监测蒸镀过程中，挥发物凝固在观察窗内表面上，影响监测效果的技术问题。

本实用新型一种真空镀膜设备用观察窗防污染装置在权利要求书中公布了：1.一种真空镀膜设备用观察窗防污染装置，其特征在于：包括直角弯头（2）、镜片（3）、磁力驱动组件（4）及防污板（5），其中直角弯头（2）的一端与真空镀膜设备的观察法兰密封连接，观察窗（1）与所述直角弯头（2）的另一端密封连接，所述镜片（3）及防污板（5）均位于直角弯头（2）内，所述磁力驱动组件（4）固定在直角弯头（2）上，所述磁力驱动组件（4）的输出端与镜片（3）连接，所述镜片（3）通过磁力驱动组件（4）的驱动在直角弯头（2）内的直角转弯处相对观察窗（1）转动，进而实现通过所述观察窗（1）观察真空腔室内部视线线路的开关；所述防污板（5）固接在直角弯头（2）的内壁上，当所述镜片（3）在磁力驱动组件（4）的驱动下转动至关闭状态时，所述镜片（3）背向观察窗（1）的一面与防污板（5）抵接；所述镜片（3）为镜面不锈钢，所述镜片（3）背向观察窗（1）的一面处于关闭状态时，在真空镀膜过程中沉积有蒸镀材料，当所述镜片（3）再次处于打开状态时，沉积的蒸镀材料会提高镜片（3）亮度和镜片（3）的折射率。

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