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申请/专利权人：北京京东方光电科技有限公司
申请日：2011-03-23
公开（公告）日：2011-10-12
公开（公告）号：CN202008989U
专利技术分类：...使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子[2006.01]
专利摘要：本实用新型提供一种基底支撑组件和基底传送装置，属于基底处理技术领域，其可解决现有的基底支撑组件成本较高或不能为基底提供稳定、可靠的支撑的问题。本实用新型的基底支撑组件包括：固定部；与所述固定部连接的支撑部，所述支撑部具有用于与基底接触的支撑面，且所述支撑面与基底的接触面积能随基底压力的作用而增大。本实用新型的基底传送装置包括上述基底支撑组件，以及用于驱动上述基底支撑组件的驱动单元。本实用新型可用于在真空环境下传送基底。
专利权项：一种基底支撑组件，其特征在于，包括：固定部；与所述固定部连接的支撑部，所述支撑部具有用于与基底接触的支撑面，且所述支撑面与基底的接触面积能随基底压力的作用而增大。
百度查询： 北京京东方光电科技有限公司 基底支撑组件和基底传送装置
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