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申请/专利权人：朗姆研究公司
申请日：2011-04-06
公开（公告）日：2012-11-14
公开（公告）号：CN102782832A
专利技术分类：...使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子[2006.01]
专利摘要：通过提供一个或多个销组件实现对旋转卡盘中的静电荷减少的改善，所述销组件由化学惰性材料制成，并且包括导电嵌体。
专利权项：用于处理晶片状物件的装置，其包括卡盘，所述卡盘适于在将在晶片状物件上执行的处理操作期间将所述晶片状物件保持在预定的方位，所述卡盘包括卡盘主体和多个销组件，该多个销组件适应于所述卡盘主体并且相对于所述卡盘主体定位以便支撑将被处理的晶片状物件，其中，所述销组件中的至少一个销组件由化学惰性材料制成，并在一端包含导电嵌体，所述嵌体适于与轴承元件通过物理方式电啮合。
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