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申请/专利权人:西北大学
摘要:本发明公开了一种Bi2S3‑HfS2范德瓦尔斯异质结薄膜的制备方法,包括:步骤一:准备第一燃烧管,取HfCl4粉末置于温区二中心下游方向,取硫粉置于温区二中心上游方向,取基底置于温区一中心处;步骤二:对第一燃烧管密封并进行真空处理后,通过进气口向第一燃烧管内通入惰性气体和还原性气体后,对第一燃烧管的各温度区进行加热,制备得到HfS2薄膜;步骤三:准备第二燃烧管,取Bi2O3粉末置于温区三中心处,取硫粉置于温区四中心上游方向,将步骤二制得的HfS2薄膜作为新基底置于温区三中心下游方向;步骤四,对第二燃烧管密封并进行真空处理后,向第二燃烧管内通入惰性气体后,对第一燃烧管的各温度区进行加热,得到Bi2S3‑HfS2范德瓦尔斯异质结薄膜。
主权项:1.一种Bi2S3-HfS2范德瓦尔斯异质结薄膜的制备装置,其特征在于,该装置包括:第一燃烧管1,所述第一燃烧管1包括第一进气口101与第一出气口102,所述第一燃烧管1中靠近第一出气口102的一端设有温区一103,靠近第一进气口101的一端设有温区二104,所述第一进气口101方向为上游方向,第一出气口102方向为下游方向。第二燃烧管2,所述第二燃烧管2包括第二进气口201与第二出气口202,所述第二燃烧管2中靠近第二出气口202的一端设有温区三203,靠近第二进气口201的一端设有温区四204,所述第二进气口201方向为上游方向,第二出气口202方向为下游方向。
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权利要求:
百度查询: 西北大学 一种Bi2S3-HfS2范德瓦尔斯异质结薄膜的制备装置及方法
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