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申请/专利权人：吉林大学
摘要：本发明公开了一种基于百TWcm2量级高强度激光高效制备柔性压力传感器模板的方法，属于柔性压力传感器模板技术领域，首先基于百TWcm2高强度激光在硅片以及金属表面上制备微结构模板，通过扫描振镜系统调控高强度激光的运动轨迹及速度，可以实现模板的图案化制备，接下来对模板进行表面硅烷化处理，并通过生长一层Parylene的方式减少模板与PDMS间的粘附性，增加翻模成功率，并且在模板表面形成坚固光滑的保护膜以便于多次翻模。在本发明中主要采用高强度激光烧蚀的方式一方面可以实现模板高效快速制备，并且对材料没有选择性，另一方面通过引入尺寸较小的微纳米结构，有效的提高器件的稳定性以及灵敏度，这在传感器制备领域具有巨大的应用潜力以及诱人的发展前景。
主权项：1.一种基于百TWcm2量级高强度激光高效制备柔性压力传感器模板的方法，其特征在于，具体步骤如下：首先基于百TWcm2高强度激光在硅片或金属表面上制备微结构模板，通过扫描振镜系统调控高强度激光的运动轨迹及速度，实现模板的图案化制备，然后对模板进行表面硅烷化处理，并生长一层Parylene；具体步骤如下：步骤1：将模板依次放入丙酮、乙醇以及去离子水中进行超声清洗，将清洗后的模板放置在三维精密位移平台的载物台上；步骤2：通过编写VisualStudio程序控制扫描振镜系统中镜片的偏转，进而调控高强度激光运动的轨迹及速度，从而实现高效快速图案化传感器模板的制备；步骤3：对微结构模板进行硅烷化处理，将制备好的微结构模板放置在配置好的硅烷化溶液中30min，后将模板取出在空气中放置，让模板表面硅烷化溶液蒸发；步骤4：采用真空下气相沉积方法在模板表面生长一层0.5μmParylene薄膜，减少模板与PDMS间的粘附性，增加翻模成功率，并在模板表面形成坚固光滑的保护膜以便于多次翻模；步骤2所述的激光的脉冲中心波长为800nm，重复频率为500Hz，脉宽为35fs，经过焦距为1m的平凸透镜在空气中聚焦，基于飞秒激光非线性大气传输成丝形成100-200微米直径、150TWcm2高强度激光脉冲。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 吉林大学 一种基于百TW/cm2量级高强度激光高效制备柔性压力传感器模板的方法
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