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申请/专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日：2022-08-22
公开（公告）日：2022-09-20
公开（公告）号：CN115078769A
专利技术分类：.在二维或更高维空间中[2013.01]
专利摘要：本申请公开了一种MEMS加速度计。所述MEMS加速度计包括第一检测单元以及第二检测单元；所述第一检测单元包括主质量块、第一加速度检测子单元以及第二加速度检测子单元，所述主质量块与所述第一加速度检测子单元形成第一检测电容，主质量块与第二加速度检测子单元形成第二检测电容；第二检测单元包括从质量块以及第三加速度检测子单元，从质量块与第三加速度检测子单元形成第三检测电容，其中，主质量块关于第二方向偏心设置，从质量块位于主质量块的质量相对小的一侧。本申请通过设置于第一镂空槽内的从质量块完成第三方向加速度的检测，有效解决了在不增加芯片总面积的情况下，保证三个相互垂直方向上的加速度的检测精度的问题。
专利权项：1.一种MEMS加速度计，其特征在于，所述MEMS加速度计包括第一检测单元（10）以及第二检测单元（20）；所述第一检测单元（10）包括主质量块（110）、第一加速度检测子单元以及第二加速度检测子单元，所述主质量块（110）与所述第一加速度检测子单元形成针对第一方向加速度的第一检测电容（120），所述主质量块（110）与所述第二加速度检测子单元形成针对第二方向加速度的第二检测电容（130），所述第二方向与所述第一方向相垂直；所述第二检测单元（20）包括从质量块（210）以及第三加速度检测子单元，所述从质量块（210）与所述第三加速度检测子单元形成针对第三方向加速度的第三检测电容（220），所述第三方向与所述第二方向以及所述第一方向均垂直；其中，所述主质量块（110）关于所述第二方向偏心设置，所述从质量块（210）位于所述主质量块（110）的质量相对小的一侧。
百度查询： 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 MEMS加速度计
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