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一种分区点亮半导体激光器模组的自动化LIV测试方法 

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申请/专利权人:柯泰光芯(常州)测试技术有限公司

摘要:本发明提供了一种分区点亮半导体激光器模组的自动化LIV测试方法,将被测的VCSEL阵列模组通过载台水平安装于所述二维可程控精密平移台上,获取相机的定位系统中心位置拍摄到的原始图像,并通过畸变校正单元得到原始图像的图像像素与真实世界坐标的映射关系;获取VCSEL阵列模组的尺寸、芯片总数量和每个芯片的位置坐标,通过可驱动运动控制卡的控制软件换算成测试位坐标;二维可程控精密平移台逐一将每个芯片移动至测试位坐标,由积分球进行收光后,对每个芯片进行光功率测试并生成LIV曲线;本发明克服了现有针对单孔或小阵列等面积较小的激光器的测试系统测试速度慢、对准难的问题,为激光雷达等高功率设备研发阶段和量产阶段的试验和测试提供了新的测试方法。

主权项:1.一种分区点亮半导体激光器模组的自动化LIV测试方法,包括相机、积分球以及二维可程控精密平移台,所述相机通过龙门测试架安装于所述二维可程控精密平移台的正上方;其特征在于:将被测的VCSEL阵列模组通过载台水平安装于所述二维可程控精密平移台上,并调整所述二维可程控精密平移台,使所述VCSEL阵列模组表面的其中一个芯片移动到所述相机的定位系统中心位置;基于所述相机的焦距和视场已经确保被测目标可以清晰地占满大多数视场;获取所述相机的定位系统中心位置拍摄到的所述VCSEL阵列模组的原始图像,并通过畸变校正单元得到原始图像的图像像素与真实世界坐标的映射关系;基于原始图像的图像像素与真实世界坐标的映射关系,获取所述VCSEL阵列模组的尺寸、芯片总数量和每个芯片的位置坐标,存储于PC端,并通过PC端换算成测试位坐标;基于测试位坐标已被确定,则所述二维可程控精密平移台逐一将每个芯片移动至光功率测试系统的测试区域,由所述积分球进行收光后,依靠光功率测试系统对每个芯片进行光功率测试并生成LIV曲线。

全文数据:

权利要求:

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