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一种SiCMOSFET多芯片并联子单元压接封装结构 

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申请/专利权人:西安交通大学

摘要:本发明涉及电力半导体封装技术领域,尤其涉及一种SiCMOSFET多芯片并联子单元压接封装结构,包括双面DBC陶瓷板、弹性组合、栅极钼片端子、源极钼片端子、漏极钼片端子、单面DBC陶瓷板、SiCMOSFET芯片和散热器,多个SiCMOSFET芯片均与单面DBC陶瓷板表面连接,且露出SiCMOSFET芯片表面的栅极和源极;SiCMOSFET芯片的漏极电极与单面DBC陶瓷板相连,SiCMOSFET芯片的栅极电极分别通过四个栅极钼片端子引出,漏极钼片端子与单面DBC陶瓷板连接,栅极钼片端子与双面DBC陶瓷板上的栅极部分连接,源极钼片端子与双面DBC陶瓷板上的源极部分连接;单面DBC陶瓷板和双面DBC陶瓷板均采用Al2O3材料制成。本发明解决了传统层叠型封装无法适应硅器件的高温、高压、高频等要求的问题。

主权项:1.一种SiCMOSFET多芯片并联子单元压接封装结构,其特征在于,包括双面DBC陶瓷板4、弹性组合5、四个栅极钼片端子6、两个源极钼片端子7、两个漏极钼片端子8、两个单面DBC陶瓷板1、四个SiCMOSFET芯片2和两个散热器9,两个单面DBC陶瓷板1相对设置,双面DBC陶瓷板4设置于两个单面DBC陶瓷板1之间;单面DBC陶瓷板1远离双面DBC陶瓷板4的一侧与散热器9连接,单面DBC陶瓷板1与散热器9一一对应;四个SiCMOSFET芯片2平均分为两组分别与两个单面DBC陶瓷板1连接,且露出SiCMOSFET芯片2表面的栅极和与源极,两组SiCMOSFET芯片2对称设置;SiCMOSFET芯片2的漏极电极与单面DBC陶瓷板1相连,SiCMOSFET芯片2的栅极电极分别通过四个栅极钼片端子6引出,弹性组合5设置于SiCMOSFET芯片2与双面DBC陶瓷板4之间;漏极钼片端子8与单面DBC陶瓷板1连接,栅极钼片端子6与双面DBC陶瓷板4上的栅极部分连接,源极钼片端子7与双面DBC陶瓷板4上的源极部分连接;单面DBC陶瓷板1和双面DBC陶瓷板4均采用Al2O3材料制成。

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