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申请/专利权人：上海至纯半导体设备有限公司
摘要：本实用新型公开了CDA控制真空阀门的控制装置，包括装置本体，所述装置本体包括阀体、压力仓、空气压缩装置、压力流量调节装置、进气管和出气管，所述压力仓安装在阀体顶部，所述空气压缩装置安装在压力仓顶部，所述压力流量调节装置安装在空气压缩装置内，所述进气管安装在阀体左端，所述出气管安装在阀体右端；所述压力流量调节装置包括阀板、连接杆和压力板，所述连接杆安装在阀板顶部，所述阀板位于阀体内部，所述压力板安装在连接杆顶部，所述阀板表面包裹有橡胶密封垫。该种装置可以十分便捷对阀体内流量的大小进行调节，从而提高对阀体内流量调节的简便性和流量调节的精准度。
主权项：1.CDA控制真空阀门的控制装置，其特征在于：包括装置本体1，所述装置本体1包括阀体2、压力仓3、空气压缩装置4、压力流量调节装置5、进气管6和出气管7，所述压力仓3安装在阀体2顶部，所述空气压缩装置4安装在压力仓3顶部，所述压力流量调节装置5安装在空气压缩装置4内，所述进气管6安装在阀体2左端，所述出气管7安装在阀体2右端；所述压力流量调节装置5包括阀板9、连接杆10和压力板11，所述连接杆10安装在阀板9顶部，所述阀板9位于阀体2内部，所述压力板11安装在连接杆10顶部，所述阀板9表面包裹有橡胶密封垫14。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海至纯半导体设备有限公司 CDA控制真空阀门的控制装置
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