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申请/专利权人：埃地沃兹有限公司
申请日：2022-07-07
公开（公告）日：2024-03-08
公开（公告）号：CN117677799A
专利技术分类：.处理废气或秽气的，例如排气（带有使排气变为无害的装置的发动机排气设备，例如通过加热转化或催化转化入F01N3/08；处理来自燃烧固体或流体燃料的设备的初始燃烧未尽物质的燃烧的入F23B，F23C）[2006.01]
专利摘要：公开了一种入口组件、一种减排设备和一种方法。该入口组件用于减排设备，该减排设备用于处理来自半导体加工工具的排出流，并且该入口组件包括：燃烧室模块，所述燃烧室模块限定气室，所述气室被构造成将燃烧剂供应到其燃烧室，所述燃烧室模块具有安装件，所述安装件被构造成与共用头部接合，所述共用头部限定至少一个廊道，所述至少一个廊道被构造成供应所述燃烧剂，所述安装件包括多个供给孔，所述多个供给孔定位成用于所述燃烧剂在所述廊道和所述气室之间的流体连通。这样，适合于其燃烧室模块的安装件与标准或共用头部接合，这使得燃烧剂能够从共用头部的廊道经由安装件供应到燃烧室模块的气室。这使得共用头部能够用于不同的燃烧室模块，这减少了用于减排设备的组装和维护所需的部件的数量。
专利权项：1.一种用于减排设备的入口组件，所述减排设备用于处理来自半导体加工工具的排出流，所述入口组件包括：燃烧室模块，所述燃烧室模块限定气室，所述气室被构造成将燃烧剂供应到其燃烧室，所述燃烧室模块具有：安装件，所述安装件被构造成与共用头部接合，所述共用头部限定至少一个廊道，所述至少一个廊道被构造成供应所述燃烧剂，所述安装件包括多个供给孔，所述多个供给孔定位成用于所述燃烧剂在所述廊道和所述气室之间的流体连通。
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