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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：示例性基板边缘抛光设备可包括定义基板支撑表面的夹盘主体。设备可包括搁置在夹盘主体上的边缘环。设备可包括从边缘环径向向外设置的保持壁。设备可包括从保持壁径向向内设置的浆料递送端口。设备可包括在夹盘主体上方可定位的圆柱形心轴。设备可包括与圆柱形心轴的下端耦接的环形抛光垫。
主权项：1.一种基板边缘抛光设备，包含：夹盘主体，定义基板支撑表面；边缘环，搁置在所述夹盘主体上；保持壁，从所述边缘环径向向外设置；浆料递送端口，从所述保持壁径向向内设置；心轴，可定位在所述夹盘主体上方；以及环形抛光垫，与所述心轴的下端耦接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 面朝上的晶片边缘抛光设备
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