申请/专利权人：三星显示有限公司

申请日：2023-08-30

公开（公告）日：2024-04-09

公开（公告）号：CN220746055U

主分类号：C23C14/04

分类号：C23C14/04;C23C16/04;C23C14/50;C23C16/458

优先权：["20220830 KR 10-2022-0109212"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.09#授权

摘要：提供了一种沉积设备，其包括：掩模，在掩模中限定有多个沉积开口；掩模框架，包括第一部分、第二部分、第三部分和第四部分并且设置在掩模的后表面上，并且在掩模框架中限定有开口；平台，设置在掩模框架的后表面上；以及第一外力施加部、第二外力施加部和第三外力施加部，设置在平台上，其中，第一部分和第二部分中的每个在第一方向上延伸，并且第三部分和第四部分中的每个在与第一方向垂直的第二方向上延伸，并且第一外力施加部至第三外力施加部中的每个包括支撑掩模框架的外表面的支撑件和使支撑件在与掩模框架的外表面垂直的方向上移动的驱动部。根据公开的沉积设备包括能够调节掩模框架的位置的外力施加部，使得沉积设备具有改善的沉积精度。

主权项：1.一种沉积设备，其特征在于，所述沉积设备包括：掩模，在所述掩模中限定有多个沉积开口；掩模框架，包括第一部分、第二部分、第三部分和第四部分并且设置在所述掩模的后表面上，并且在所述掩模框架中限定有开口；平台，设置在所述掩模框架的后表面上；以及第一外力施加部、第二外力施加部和第三外力施加部，设置在所述平台上，其中，所述第一部分和所述第二部分中的每个在第一方向上延伸，并且所述第三部分和所述第四部分中的每个在与所述第一方向垂直的第二方向上延伸，并且所述第一外力施加部至所述第三外力施加部中的每个包括支撑所述掩模框架的外表面的支撑件和使所述支撑件在与所述掩模框架的所述外表面垂直的方向上移动的驱动部。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 三星显示有限公司 沉积设备

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD