申请/专利权人：ASML荷兰有限公司

申请日：2022-07-28

公开（公告）日：2024-04-05

公开（公告）号：CN117836720A

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：["20210826 EP 21193233.0","20211213 EP 21214132.9"]

专利状态码：在审-公开

法律状态：2024.04.05#公开

摘要：披露了一种确定测量选配方案的方法，所述测量选配方案描述用于从衬底上的复合结构测量所关注的参数的测量设置。所述方法包括获得与参考目标的测量相关的第一训练数据，所述目标包括：所关注的参数目标，每个所关注的参数目标具有遍及所关注的参数目标而变化的引发设置值；和一个或更多个隔离的特征目标，每个包括一个或更多个特征的重复。获得第二训练数据，所述第二训练数据包括从所述复合结构的一个或更多个实例的测量获得的复合结构测量信号，使用所述第一训练数据和第二训练数据来训练一个或更多个机器学习模型，以根据针对所述特征不对称性贡献而被校正的与所述复合结构相关的测量信号推断所关注的参数的值。

主权项：1.一种确定测量选配方案的方法，所述测量选配方案描述用于从衬底上的复合结构测量所关注的参数的测量设置；所述方法包括：获得与对多个参考目标的测量相关的第一训练数据，所述多个参考目标包括：多个所关注的参数目标，每个所关注的参数目标具有遍及所述多个所关注的参数目标而变化的引发设置值；和一个或更多个隔离的特征目标，每个特征目标包括被包括在所述复合结构内的、与所述复合结构的其它特征隔离的一个或更多个特征的重复；获得包括从对所述复合结构的一个或更多个实例的测量获得的多个复合结构测量信号的第二训练数据，所述多个复合结构测量信号中的每个复合结构测量信号包括由于所述一个或更多个特征的不对称性而引起的特征不对称性贡献；以及使用所述第一训练数据和第二训练数据来训练一个或更多个机器学习模型，以根据针对所述特征不对称性贡献而被校正的与所述复合结构相关的测量信号推断所关注的参数的值。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASML荷兰有限公司 确定测量选配方案的方法和相关联的设备

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