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申请/专利权人:家登精密工业股份有限公司
摘要:本发明公开一种光罩储柜系统及光罩载入方法和光罩卸除方法,该系统包含:一储放柜,包含多个存放架,每一个存放架用于承载一专用光罩储存盒;及一机械手臂,配置成与该储放柜配合以搬运所述专用光罩储存盒;其中,所述专用光罩储存盒用于该储放柜中的储藏及调度;其中,该储放柜包含一缓冲区,配置成存放已清洁或已使用过的一个或多个专用光罩储存盒。
主权项:1.一种光罩储柜系统,其特征在于,包含:一储放柜,包含多个存放架,每一个存放架用于承载一专用光罩储存盒;及一机械手臂,配置成与该储放柜配合以搬运所述专用光罩储存盒;其中,所述专用光罩储存盒用于该储放柜中的储藏及调度;其中,该储放柜包含一缓冲区,配置成存放已清洁或已使用过的一个或多个专用光罩储存盒。
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百度查询: 家登精密工业股份有限公司 光罩储柜系统及光罩载入方法和光罩卸除方法
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