申请/专利权人：株式会社钟化

申请日：2019-11-08

公开（公告）日：2024-04-23

公开（公告）号：CN113330584B

主分类号：H01L31/18

分类号：H01L31/18;H01L21/673;H01L31/0747

优先权：["20190124 JP 2019-010471"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.23#授权;2022.02.08#实质审查的生效;2021.08.31#公开

摘要：本发明涉及太阳能电池制造用基板托盘以及太阳能电池的制造方法。太阳能电池制造用托盘100用于制造太阳能电池的制膜工艺中。为了将基板200运送到制膜腔内，将基板200放置在托盘100上。托盘100具有凹部120和树脂部件130。凹部120在托盘100的供放置基板200一侧的表面敞开口，树脂部件130布置在凹部120的底面124上。基板200放置在树脂部件130上。

主权项：1.一种基板托盘，在用于制造太阳能电池的制膜工艺中，为了将半导体基板运送到制膜腔，将该半导体基板放置在所述基板托盘上，其特征在于：所述基板托盘包括凹部和树脂部件，所述凹部在该基板托盘的放置有所述半导体基板的一侧的表面敞开口，所述树脂部件布置在所述凹部的底面和所述凹部的外周部中至少一者上，所述半导体基板以覆盖整个所述树脂部件的方式放置在该树脂部件上，所述半导体基板的形状是正方形或八边形，所述凹部的形状是俯视时宽度比所述半导体基板的宽度小的正方形，所述树脂部件布置在所述凹部的外周部的多个位置处或布置在外周部整个一周，所述树脂部件的外周端位于所述半导体基板的最外端的内侧。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社钟化 太阳能电池制造用基板托盘及太阳能电池的制造方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD