申请/专利权人:圆益IPS股份有限公司
申请日:2023-10-25
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN117936451A
主分类号:H01L21/687
分类号:H01L21/687
优先权:["20221025 KR 10-2022-0138221"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要:本发明涉及基板支撑模块及包括其的基板处理装置,更详细地说,涉及用于支撑基板的基板支撑模块及包括其的基板处理装置。本发明公开一种基板支撑模块,作为用于支撑基板1的基板支撑模块,包括:支撑部10,设置在用于处理所述基板1的处理空间;多个基板支撑销20,位于所述支撑部10上,支撑所述基板1,所述基板支撑销20是至少一部分形成内部空间S的中空形状。
主权项:1.一种基板支撑模块,作为用于支撑基板1的基板支撑模块,包括:支撑部10,设置在用于处理所述基板1的处理空间;多个基板支撑销20,位于所述支撑部10上,支撑所述基板1,所述基板支撑销20是至少一部分形成内部空间S的中空形状。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 圆益IPS股份有限公司 基板支撑模块及包括其的基板处理装置
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