申请/专利权人：ASMIP控股有限公司

申请日：2019-08-16

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117926219A

主分类号：C23C16/448

分类号：C23C16/448

优先权：["20180816 US 62/719,027"]

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本文公开了与固体源化学升华器容器和相应的沉积模块有关的系统和方法。固体源化学升华器可以包括配置成在其中保持固体化学反应物的壳体。盖可以布置在所述壳体的近侧部分上。所述盖可以包括流体入口和流体出口，并且在所述盖的远侧部分内限定蛇形流动路径。所述盖可以适于允许所述流动路径内的气流。所述固体源化学升华器可以包括布置在所述蛇形流动路径和所述壳体的远侧部分之间的过滤器。所述过滤器可以具有配置成限制固体化学反应物通过其中的孔隙率。

主权项：1.一种固体源化学升华器，包括：外壳，包括近端部分和远端部分，所述外壳具有沿着外壳的长度延伸的外壳轴线，所述远端部分被配置为将固体化学反应物容纳在其中；盖，设置在壳体的近端部分上，盖包括流体入口和流体出口，壳体轴线垂直于盖的平面；沿壳体轴线设置的热传导导管；两个或更多个从热传导导管径向延伸的传导突起，其中传导突起连接至热传导导管，并且其中壳体的远端部分被配置为保持固体化学反应物，其中传导突起位于其中；和流动结构，配置为增加载气暴露于升华反应物的时间长度，该流动结构设置在壳体的近端内部部分内并且包括彼此轴向间隔开的多个突出部，该多个突出部形成一个或多个流体入口至流体出口之间的流体路径。

全文数据：

权利要求：

百度查询： ASMIP控股有限公司 固体源升华器

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