申请/专利权人:杭州龙圣外延科技有限公司
申请日:2024-03-10
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN117926207A
主分类号:C23C16/18
分类号:C23C16/18;C23C16/455
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要:本发明提供了一种改进密封的MOCVD设备,MOCVD设备包括:反应腔壳,用于提供供反应气体发生化学反应的环境;进气口和排气口,分别用于向反应腔壳内供应反应气体和从反应腔壳内排出气体;以及内筒41,设置在反应腔壳内,并且内筒41与反应腔壳之间形成反应气体通道51,其中,所述MOCVD设备被配置为使得内筒41和反应腔壳之间能够相对旋转;其中,所述反应腔壳包括第一壳体31和第二壳体32,并且所述第一壳体31和第二壳体32之间设置有密封组件。本发明的改进密封的MOCVD设备具有改善的密封性,并且温度均匀性、气体流动均匀性和气体浓度均匀性好,能够提高半导体器件的沉积质量,能够增大产能。
主权项:1.一种改进密封的MOCVD设备,其特征在于,所述MOCVD设备包括:反应腔壳,用于提供供反应气体发生化学反应的环境;进气口和排气口,分别用于向反应腔壳内供应反应气体和从反应腔壳内排出气体;以及内筒41,设置在反应腔壳内,并且内筒41与反应腔壳之间形成反应气体通道51,其中,所述MOCVD设备被配置为使得内筒41和反应腔壳之间能够相对旋转;其中,所述反应腔壳包括第一壳体31和第二壳体32,并且所述第一壳体31和第二壳体32之间设置有密封组件。
全文数据:
权利要求:
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