申请/专利权人:诺思(天津)微系统有限责任公司
申请日:2024-01-25
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN117938111A
主分类号:H03H9/17
分类号:H03H9/17;H03H9/56;H03H9/58
优先权:
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要:本申请提供一种谐振器及滤波器。其中,谐振器包括衬底、位于衬底一侧的下电极、位于衬底与下电极之间的声学镜、位于下电极背离衬底的一侧的上电极以及位于上电极和下电极之间的压电层;其中,上电极和下电极中的至少之一为多层复合电极,多层复合电极包括层叠设置的第一子电极层和第二子电极层,第二子电极层的材料的电阻率小于第一子电极层的材料的电阻率,且第二子电极层在所在电极中的厚度占比为20%~100%。采用本申请的方案,可以增加谐振器的Q值,从而提高谐振器的性能。
主权项:1.一种谐振器,其特征在于,包括:衬底;下电极,位于所述衬底一侧;声学镜,位于所述衬底与所述下电极之间;上电极,位于所述下电极背离所述衬底的一侧;以及压电层,位于所述上电极和所述下电极之间;其中,所述上电极和所述下电极中的至少之一为多层复合电极,所述多层复合电极包括层叠设置的第一子电极层和第二子电极层,所述第二子电极层的材料的电阻率小于所述第一子电极层的材料的电阻率,且所述第二子电极层在所在电极中的厚度占比为20%~100%。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 诺思(天津)微系统有限责任公司 谐振器及滤波器
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