申请/专利权人:日本碍子株式会社
申请日:2021-12-22
公开(公告)日:2024-04-26
公开(公告)号:CN117940620A
主分类号:C30B29/36
分类号:C30B29/36;C04B35/577;C30B1/02
优先权:["20211012 JP 2021-167477"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开
摘要:本发明提供一种能够减少基板加工时的破裂和裂纹的包含稀土的SiC基板。该包含稀土的SiC基板具备B的浓度CB相对于稀土元素的浓度CRE的比CBCRE为1.0×10‑2~1.0×105的双轴取向SiC层。
主权项:1.一种包含稀土的SiC基板,其特征在于,具备双轴取向SiC层,所述双轴取向SiC层的B的浓度CB相对于稀土元素的浓度CRE的比CBCRE为1.0×10-2~1.0×105。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 日本碍子株式会社 包含稀土的SiC基板和SiC复合基板
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。