申请/专利权人：江苏雅克福瑞半导体科技有限公司

申请日：2024-01-26

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN117936428A

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.05.14#实质审查的生效;2024.04.26#公开

摘要：本发明公开了用于制造半导体芯片的高纯化学品的输送系统，包括罐体,所述罐体的顶部设置有进料口，所述罐体的一侧设置有补充口，所述补充口的一侧设置有密封门，所述罐体的圆周外壁固定连接有支撑腿，所述支撑腿的数目为三组，三组支撑腿在所述罐体的圆周外壁呈等距离圆形分布，所述罐体的底部插接有排料管，所述排料管的一端设置有泵体。本发明中，实现了不同高纯化学品的分类输送，避免出现不同高纯化学品在输送的过程中出现交叉污染的情况，且在高纯化学品输送的过程中通过设置在输料管中部的U型部，能够实现自然补偿，从而来消除管道膨胀带来的应力，有效的延长了整个输料管的使用寿命，满足了人们对高纯化学品的输送需求。

主权项：1.用于制造半导体芯片的高纯化学品的输送系统，包括罐体1,其特征在于，所述罐体1的顶部设置有进料口3，所述罐体1的一侧设置有补充口4，所述补充口4的一侧设置有密封门13，所述罐体1的圆周外壁固定连接有支撑腿2，所述支撑腿2的数目为三组，三组支撑腿2在所述罐体1的圆周外壁呈等距离圆形分布，所述罐体1的底部插接有排料管5，所述排料管5的一端设置有泵体6，所述泵体6的一端设置有输料管7；所述输料管7包括U型部9，所述输料管7的一端插接有横管8，所述横管8与所述输料管7的圆周外壁均设置有控制阀，所述横管8的一端插接有固定管11，所述固定管11远离所述横管8的一端插接有矩形部12，所述矩形部12的底部设置有圆形部14，所述圆形部14的底部开设有等距离呈圆形分布的喷孔17。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 江苏雅克福瑞半导体科技有限公司 用于制造半导体芯片的高纯化学品的输送系统

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