申请/专利权人：上海镭望光学科技有限公司

申请日：2023-04-06

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN116414010B

主分类号：G03F7/20

分类号：G03F7/20

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2023.07.28#实质审查的生效;2023.07.11#公开

摘要：一种自由光瞳产生装置及其产生自由光瞳照明的方法，自由光瞳产生装置包括：能量均衡组件、光束分割组件、失效微反射镜屏蔽组件、微反射镜阵列单元、傅里叶变换透镜组和光瞳面；沿光路传播方向依次设置能量均衡组件、光束分割组件、失效微反射镜屏蔽组件、微反射镜阵列单元、傅里叶变换透镜组和光瞳面。该装置极大地缩短自由照明系统总长，同时还可实现快速产生任意照明模式。

主权项：1.一种自由光瞳产生装置，其特征在于，包括：能量均衡组件、光束分割组件、失效微反射镜屏蔽组件、微反射镜阵列单元、傅里叶变换透镜组和光瞳面；沿光路传播方向依次设置能量均衡组件、光束分割组件、失效微反射镜屏蔽组件、微反射镜阵列单元、傅里叶变换透镜组和光瞳面；所述光瞳面与所述傅里叶变换透镜组像方主面之间的距离为第一预设距离，所述第一预设距离小于所述傅里叶变换透镜组后焦面相对于所述傅里叶变换透镜组像方主面距离；基于所述第一预设距离，调整所述微反射镜阵列单元实现任意的照明模式。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海镭望光学科技有限公司 一种自由光瞳产生装置及其产生自由光瞳照明的方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD