申请/专利权人：吉林大学

申请日：2020-06-03

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN111526653B

主分类号：H05H1/46

分类号：H05H1/46;H05H1/10

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2020.09.04#实质审查的生效;2020.08.11#公开

摘要：本发明的具备电磁能量双重激发功能的微波耦合等离子体发生装置属于微波能应用技术领域。所述的微波耦合等离子体发生装置由微波同轴谐振腔部分和磁场发生部分组成；所述的微波同轴谐振腔部分包括外导体1、微波天线2、内导体3、中管4、内管5、样品管6和阻抗匹配筒7，所述的磁场发生部分由励磁下部8、励磁中部9、励磁上部10构成。相比于相有技术，本发明具有提高等离子体的电子密度、提高微波能的利用效率、提高等离子体的原子化能力等优点。

主权项：1.一种具备电磁能量双重激发功能的微波耦合等离子体发生装置，由微波同轴谐振腔部分和磁场发生部分组成；所述的微波同轴谐振腔部分包括外导体1、微波天线2、内导体3、中管4、内管5、样品管6和阻抗匹配筒7；外导体1、内导体3、中管4、内管5、样品管6按由外到内的顺序依次嵌套且同轴，样品管6、内管5、中管4和内导体3在所构成的谐振腔出口端面处齐平，内导体3的外表面与外导体1的内表面共同构成微波同轴谐振腔的工作主体，该同轴谐振腔的特性阻抗范围为50～80欧姆，腔体深度为2n+1λ4，其中n为0、1、2或3，λ为所使用的微波波长；所述的微波天线2位于距离所构成的谐振腔底面λ4处；所述的阻抗匹配筒7位于外导体1的上端面，并与所述外导体1的上端面紧密连接；所述的磁场发生部分由励磁下部8、励磁中部9、励磁上部10构成，励磁下部8位于微波同轴谐振腔上部端面沿外导体1的外沿放置，励磁中部9位于阻抗匹配筒7下部外侧，励磁上部10位于阻抗匹配筒7上部内侧；励磁下部8、励磁中部9、励磁上部10产生的磁场方向相同并与微波同轴谐振腔产生的微波耦合等离子体的中心轴线一致；励磁下部8和励磁上部10的磁场强度相同，并大于励磁中部9的磁场强度，三者共同形成一个两端略高、中间稍低的马鞍形的磁场，用来形成一个两端近似收敛的、约束等离子体炬焰的磁势阱；励磁下部8、励磁中部9、励磁上部10由永久磁体或励磁线圈构成，当使用永久磁体构成时，使用圆环形永磁体。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 吉林大学 具备电磁能量双重激发功能的微波耦合等离子体发生装置

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