申请/专利权人：应用材料公司

申请日：2019-07-10

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN113841263B

主分类号：H10K50/844

分类号：H10K50/844;H10K59/12;H01L29/786

优先权：["20190425 US 62/838,883"]

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权;2022.01.11#实质审查的生效;2021.12.24#公开

摘要：本公开内容的实施方式大体涉及有机发光二极管装置，并且更特别涉及用于OLED装置的湿气阻挡膜。OLED装置包括薄膜封装结构和或薄膜晶体管。湿气阻挡膜被用来作为薄膜封装结构中的第一阻挡层和薄膜晶体管中的钝化层和或栅极绝缘层。湿气阻挡膜包括氮氧化硅材料，氮氧化硅材料具有小于约1.5的低折射率、小于约5.0×10‑5gm2天的低水蒸气穿透率和小于约8％的低氢含量。

主权项：1.一种薄膜封装结构，包括：第一阻挡层，所述第一阻挡层包括氮氧化硅材料，所述氮氧化硅材料具有1.46至1.48的折射率、小于5.0×10-5gm2天的水蒸气穿透率，小于8％的氢含量及1.70至2.15的OSi比例和0.01至0.05的NSi比例的组成；缓冲层，所述缓冲层设置在所述第一阻挡层上；和第二阻挡层，所述第二阻挡层设置在所述缓冲层上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 应用材料公司 具有低折射率和低水蒸气穿透率的湿气阻挡膜

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