申请/专利权人：海目星激光科技集团股份有限公司

申请日：2023-09-21

公开（公告）日：2024-04-26

公开（公告）号：CN220856515U

主分类号：H01L21/67

分类号：H01L21/67;H01L21/677;H01L21/68

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.04.26#授权

摘要：本实用新型公开一种空间对位系统，空间对位系统包括调节装置、激光头、相机以及活动装置，其中，调节装置具有工作平面，芯片载板和目标基板能够安装于调节装置，调节装置用于驱动目标基板与芯片载板之间产生相对运动；相机与激光头在平行于工作平面的方向上间隔设置；调节装置安装于活动装置，以使得调节装置具有第一检测位置以及激光位置；调节装置位于第一检测位置时，芯片载板在相机的拍摄方向上；调节装置位于激光位置时，芯片载板在激光的激光发射方向上。如此设置，避免激光头影响相机的成像，从而提高相机的拍摄精度，同时通过活动装置将调节装置在第一检测位置和激光位置之间切换，从而确保目标基板与芯片载板在切换过程中保持相对静止。

主权项：1.一种空间对位系统，用于将目标基板与芯片载板对位，所述芯片载板上设有多个芯片，其特征在于，所述空间对位系统包括调节装置、激光头、相机以及活动装置；其中，所述调节装置具有工作平面，所述芯片载板和所述目标基板能够安装于所述调节装置，所述调节装置用于驱动所述目标基板与所述芯片载板之间产生相对运动；所述相机与所述激光头在平行于所述工作平面的方向上间隔设置，且所述相机的拍摄方向与所述激光头的激光发射方向均垂直所述工作平面设置；所述调节装置安装于所述活动装置，所述活动装置用于驱动所述调节装置在平行于所述工作平面的方向上运动，以使得所述调节装置具有第一检测位置以及激光位置；所述调节装置位于所述第一检测位置时，所述芯片载板在所述相机的拍摄方向上；所述调节装置位于所述激光位置时，所述芯片载板在所述激光的激光发射方向上。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 海目星激光科技集团股份有限公司 空间对位系统

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