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一种全自动GPP清洗机 

申请/专利权人:济南晶硕电子有限公司

申请日:2022-11-22

公开(公告)日:2024-05-24

公开(公告)号:CN118060258A

主分类号:B08B3/08

分类号:B08B3/08;B08B3/12;B08B3/10;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.05.24#公开

摘要:本发明涉及GPP清洗机技术领域,且公开了一种全自动GPP清洗机,包括:机体;支撑腿,固定于该机体底部,用于对机体进行支撑;箱门,活动地铰接于该机体的表面,用于对机体进行密封;清洗部,设置于该机体的内部;检测部,设置于该机体的内部,用于对清洗部进行检测;以及辅助部,设置于该机体的内部,通过本发明所提供的一种全自动GPP清洗机,能够对GPP二极管进行清洗,且相对于普通的GPP清洗机,本发明所提供的清洗机具备能够根据放置的半导体材料的多少对酸洗液以及清洗液进行控制,且能够便于对清洗液以及酸洗液进行回收过滤等优点,用于解决现有技术中无法自动进行清洗的问题,保证清洗后的效率。

主权项:1.一种全自动GPP清洗机,其特征在于,包括:机体(1);支撑腿(2),固定于该机体(1)底部,用于对机体(1)进行支撑;箱门(3),活动地铰接于该机体(1)的表面,用于对机体(1)进行密封;清洗部,设置于该机体(1)的内部;检测部,设置于该机体(1)的内部,用于对清洗部进行检测;以及辅助部,设置于该机体(1)的内部。

全文数据:

权利要求:

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