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申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要：一种诸如用于切片入图像处理的与聚焦离子束铣削柱结合的扫描电子显微镜的双光束装置。基于晶片的测试体积的至少一个横截面的一幅或多幅图像来确定晶片倾斜。
主权项：1.一种计算机实施的方法，该方法包含：获得安装在双光束装置500的样本载台515上的晶片511的测试体积510的一幅或多幅图像1001,1002,1003，该一幅或多幅图像1001,1002,1003是使用该双光束装置500的成像柱540获取的且描绘出该样本载台515的一个或多个载台倾斜处的该测试体积510的一个或多个横截面552,553,554，通过使用该双光束装置500的铣削柱对该晶片进行斜面铣削而得到该测试体积的该一个或多个横截面，以及考虑到该晶片511的一种或多种结构511A,552A,1001,1002,1003,1011,1012的已知知识以及基于该一幅或多幅图像1001,1002,1003，确定该晶片511相对于该样本载台515的晶片倾斜120的至少一个分量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 在FIB-SEM或FIB-HIM设备中对准半导体样品和/或测量其未对准的工作流程
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