龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：河南师范大学
申请日：2024-01-02
公开（公告）日：2024-05-31
公开（公告）号：CN118112782A
主分类号：G02B26/00
分类号：G02B26/00;G02B5/28;G01D5/353
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.18#实质审查的生效;2024.05.31#公开
摘要：本发明公开了一种基于寄生电容效应的MEMS近红外法布里‑珀罗干涉仪，包括上基板、上镜面、嵌套环式悬臂梁结构上电极、承载层、下镜面、环形下电极和下基板；其中上基板、承载层和下基板共同构成法布里‑珀罗腔体；上基板上设有上镜面与嵌套环式悬臂梁结构上电极；下基板上设有下镜面与下电极；嵌套环式悬臂梁结构上电极由多根依次嵌套设置的单根环式悬臂梁和悬臂梁间连接梁构成。基于寄生电容效应产生的微弱静电驱动力，在低张应力的情况下，改变法布里‑珀罗腔高度。静电力产生的大部分机械能大部分被嵌套环式悬臂梁上电极吸收，弱化了应力集中现象，实现了干涉仪对所需波段近红外光波的高精度采集。
主权项：1.基于寄生电容效应的MEMS近红外法布里-珀罗干涉仪，其特征在于包括上基板、上镜面、嵌套环式悬臂梁结构上电极、承载层、下镜面、环形下电极和下基板，其中上基板和下基板平行设置于承载层两侧共同构成法布里-珀罗腔体，该上基板、承载层和下基板中部均设有圆形通孔；所述嵌套环式悬臂梁结构上电极外缘嵌套设置于上基板的圆形通孔内，嵌套环式悬臂梁结构上电极内缘嵌套设置有上镜面；所述承载层为绝缘体，用于在不受力情况下保证上基板和下基板相互平行，同时确保法布里-珀罗腔体高度为预设值；所述环形下电极外缘嵌套设置于下基板的圆形通孔内，环形下电极内缘嵌套设置有下镜面，其中下镜面与上镜面相对且平行设置，环形下电极与嵌套环式悬臂梁结构上电极相对且平行设置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河南师范大学 基于寄生电容效应的MEMS近红外法布里-珀罗干涉仪
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号