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申请/专利权人：中国科学院西安光学精密机械研究所
摘要：本发明提供一种Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法，实现对反射膜层面型精度低的Sagnac型干涉仪进行面形修整，避免重新投产，实现加工后再次使用的目的。该抛光装置包括离子抛光机安装基板、水平安装板、垂直安装板、右侧保护板和左侧保护板；右侧保护板和左侧保护板安装在水平安装板的前侧；Sagnac型干涉仪组件安装在水平安装板的顶面，且其抛光面位于右侧保护板和左侧保护板之间；垂直安装板安装在水平安装板的后侧，且其端面上设置有沿水平和竖直方向的多个第一腰形孔；离子抛光机安装基板位于垂直安装板的后侧，且其表面设置有沿水平和竖直方向的多个T形槽；垂直安装板和离子抛光机安装基板通过连接件安装。
主权项：1.一种Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置，其特征在于：包括离子抛光机安装基板1、水平安装板4、垂直安装板2、右侧保护板5和左侧保护板6；所述右侧保护板5和左侧保护板6安装在水平安装板4的前侧，且右侧保护板5和左侧保护板6能够沿水平安装板4的前侧左右移动；Sagnac型干涉仪组件3安装在水平安装板4的顶面，且抛光面位于右侧保护板5和左侧保护板6之间；所述垂直安装板2安装在水平安装板4的后侧，其端面上设置有沿水平和竖直方向的多个第一腰形孔21；所述离子抛光机安装基板1位于垂直安装板2的后侧，其表面设置有沿水平和竖直方向的多个T形槽11；所述垂直安装板2和离子抛光机安装基板1通过连接件8安装，所述连接件8包括固定连接的头部和螺杆段，所述头部安装在T形槽11内，所述螺杆段穿过T形槽11与第一腰形孔21连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院西安光学精密机械研究所 Sagnac型干涉仪组件的膜层面形离子束抛光装置及其装调方法
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