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申请/专利权人：雨树光科(深圳)有限公司
申请日：2024-02-04
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118150523A
主分类号：G01N21/41
分类号：G01N21/41;B01L3/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.07#公开
摘要：本申请实施例涉及光器件技术领域，提供了一种硅光传感芯片、生物分子传感方法及生物检测设备，通过在包层中开设相互连通的微流道和安装槽，安装槽与硅波导之间间隔第一距离，能够在满足硅波导与放置在安装槽中的微球腔进行倏逝场耦合的同时，保证硅波导仍被全部覆盖在包层中，避免了硅波导暴露。通过微球腔与安装槽的设置，利用微球腔与微流道中流通的生物样品进行接触，再通过硅波导与微球腔的耦合，检测硅波导输出的谐振波长的移动，实现折射率传感以及生物分子传感，通过生物分子直接与微球腔接触，增强了传感灵敏度的同时，也避免了硅波导受到污染。
主权项：1.一种硅光传感芯片，其特征在于，包括：硅波导，所述硅波导用于进行光传输；包层，所述包层覆盖设置在所述硅波导的表面，所述包层设置有微流道、至少一个安装槽，所述微流道设置在所述硅波导的一侧，所述安装槽设置在微流道上且与所述微流道连通，所述安装槽与所述波导之间间隔第一距离，所述第一距离用于满足所述硅波导与放置在所述安装槽中的微球腔进行倏逝场耦合的同时，使得所述硅波导仍被全部覆盖在所述包层中；至少一个微球腔，所述微球腔一一对应地放置在所述安装槽中，所述微球腔的直径小于所述安装槽的直径，所述微球腔的赤道面与所述硅波导的水平中心面位于同一平面，所述微球腔用于与所述硅波导进行倏逝场耦合以对从所述微流道流过的生物样品进行传感。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 雨树光科(深圳)有限公司 硅光传感芯片、生物分子传感方法及生物检测设备
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