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申请/专利权人：上海普达特半导体设备有限公司;普达特半导体设备(徐州)有限公司
申请日：2024-03-20
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118156214A
主分类号：H01L21/687
分类号：H01L21/687
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.07#公开
摘要：本发明提供一种晶圆夹取装置，包括：固定机构、第一调节机构、驱动机构、第二调节机构、夹取机构及限位机构，其中第一调节机构设置于固定机构上，包括第一、第二调节单元，第一调节单元至少包括相连接的第一、第二连接杆，第二调节单元至少包括相连接的第三、第四连接杆；驱动机构位于固定机构上且与第一调节机构相连接；第二调节机构包括分别与第一、第二连接杆相连接的第一、第二旋转轴；夹取机构与第二调节机构相连接，包括固定于第一旋转轴上的第一夹取单元及固定于第二旋转轴上的第二夹取单元；限位机构包括设置于第一夹取单元上的第一限位单元及设置于第二夹取单元上的第二限位单元。本发明的夹取装置减少了磨损量以及半导体设备的发尘量。
主权项：1.一种晶圆夹取装置，其特征在于，包括：固定机构；第一调节机构，设置于所述固定机构上，所述第一调节机构包括相对设置的第一调节单元以及第二调节单元，所述第一调节单元至少包括第一连接杆及与所述第一连接杆连接的第二连接杆，所述第二调节单元至少包括第三连接杆及与所述第三连接杆连接的第四连接杆；驱动机构，设置于固定机构上且与所述第一调节机构相连接，所述驱动机构位于所述第一调节单元以及所述第二调节单元之间；第二调节机构，安装于所述固定机构上，所述第二调节机构包括与所述第一连接杆相连接的第一旋转轴和与所述第二连接杆相连接的第二旋转轴；夹取机构，与所述第二调节机构相连接，所述夹取机构包括固定于所述第一旋转轴上的第一夹取单元以及固定于所述第二旋转轴上的第二夹取单元；限位机构，包括设置于所述第一夹取单元上的第一限位单元以及设置于所述第二夹取单元上的第二限位单元。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海普达特半导体设备有限公司;普达特半导体设备(徐州)有限公司 晶圆夹取装置
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