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申请/专利权人：昆山国显光电有限公司;合肥维信诺科技有限公司
申请日：2024-02-28
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118156313A
主分类号：H01L29/786
分类号：H01L29/786;H01L21/336;H01L29/423
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.07#公开
摘要：本申请公开了一种薄膜晶体管及其制备方法和显示模组、显示装置，薄膜晶体管包括衬底，第一栅极部，第一绝缘层，有源层，第二绝缘层和第二栅极部，其中，第一栅极部设置在衬底一侧；第一绝缘层设置在第一栅极部背离衬底一侧；有源层设置在第一绝缘层背离衬底一侧，有源层包括沿着第一方向设置的源区、沟道区以及漏区；第二绝缘层设置在有源层背离第一绝缘层一侧；第二栅极部设置在第二绝缘层背离衬底一侧，其中，薄膜晶体管设有贯穿第二绝缘层和第一绝缘层的第一过孔、第二过孔，第一栅极部和第二栅极部通过第一过孔、第二过孔电连接，通过上述设计，可有效解决薄膜晶体管漏电流较高的问题。
主权项：1.一种薄膜晶体管，其特征在于，包括：衬底；第一栅极部，设置在所述衬底一侧；第一绝缘层，设置在所述第一栅极部背离所述衬底一侧；有源层，设置在所述第一绝缘层背离所述衬底一侧，所述有源层包括沿着第一方向设置的源区、沟道区以及漏区；第二绝缘层，设置在所述有源层背离所述第一绝缘层一侧；第二栅极部，设置在所述第二绝缘层背离所述衬底一侧，至少部分所述第一栅极部、所述第二栅极部在所述衬底上的正投影与所述有源层在所述衬底上的正投影重合；其中，所述薄膜晶体管设有贯穿所述第二绝缘层和所述第一绝缘层的第一过孔、第二过孔，所述第一栅极部和所述第二栅极部通过所述第一过孔、所述第二过孔电连接，且沿着与所述第一方向相交的第二方向，所述第一过孔、所述第二过孔分布在所述有源层的两侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 昆山国显光电有限公司;合肥维信诺科技有限公司 薄膜晶体管及其制备方法和显示模组、显示装置
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