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申请/专利权人：浙江兆晶新材料科技有限公司;北京中企祥科技有限公司
摘要：本公开涉及一种抛光机及其抛光盘冲洗装置，该抛光盘冲洗装置包括药液箱、水箱、第一水泵、第二水泵、送药管以及冲洗管。药液箱用于容纳能够中和抛光盘上残留的抛光液的药液，水箱用于容纳冲洗抛光盘的水。第一水泵的进液口与药液箱连通，第一水泵的出液口与送药管的进液口连通，送药管上形成有喷药口，喷药口设置为朝向抛光盘，以能够向抛光盘喷洒药液。第二水泵的进液口与水箱连通，第二水泵的出液口与冲洗管的进液口连通，冲洗管上形成有喷水口，喷水口设置为朝向抛光盘，以能够向抛光盘喷水。本抛光盘冲洗装置可以实现对抛光盘的自动冲洗，节省人力，避免操作人员与残留的抛光液直接接触。
主权项：1.一种抛光盘冲洗装置，其特征在于，包括：药液箱，用于容纳能够中和抛光盘上残留的抛光液的药液；水箱，用于容纳冲洗所述抛光盘的水；第一水泵，所述第一水泵的进液口与所述药液箱连通；第二水泵，所述第二水泵的进液口与所述水箱连通；送药管，所述第一水泵的出液口与所述送药管的进液口连通，所述送药管上形成有喷药口，所述喷药口设置为朝向所述抛光盘，以能够向所述抛光盘喷洒药液；以及冲洗管，所述第二水泵的出液口与所述冲洗管的进液口连通，所述冲洗管上形成有喷水口，所述喷水口设置为朝向所述抛光盘，以能够向所述抛光盘喷水。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江兆晶新材料科技有限公司 北京中企祥科技有限公司 抛光机及其抛光盘冲洗装置
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