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稀土元素掺杂的WS2纳米片、制备方法及应用 

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申请/专利权人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

摘要:本发明公开了一种稀土元素掺杂的WS2纳米片的制备方法、WS2纳米片及应用,通过选取易溶于水且熔点低的稀土化合物作为稀土掺杂的前驱体源,以一种简单的化学气相沉积法的方法,解决了稀土高熔点,难挥发的难题,成功制备了尺寸可控的,掺杂量可控的含稀土WS2纳米片。本申请将为解决稀土离子掺杂半导体的困难提供有效解决手段,并有效拓展和丰富WS2的发光特性。

主权项:1.一种稀土元素掺杂的WS2纳米片的制备方法,其特征在于,包括:选取水溶性强的含钨粉末作为钨源,以水溶性稀土化合物作为掺杂剂,利用卤盐作为形核促进剂,按照比例混合形成前驱体溶液;将衬底进行亲水处理;在无尘环境下,将前驱体溶液旋涂在衬底表面,形成前驱体膜;将足量硫粉置于双温区管式炉的一温区,将具有前驱体膜的衬底置于二温区,抽真空,反复向管式炉通载气以除去其内氧气;通气调节载气流量,一温区加热到120℃-240℃,二温区同时加热到820℃-920℃,保持5min-20min;将一温区和二温区温度降至室温,得到稀土元素掺杂的WS2纳米片。

全文数据:

权利要求:

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